洁净度控制方案
ISO 14644 根据悬浮粒子浓度这个唯一指标来划分洁净室(区)及相关受控环境中空气洁净度的等级,并且仅考虑粒径限值(低限)在0.1um~5.0um 范围内呈累积分布的粒子群。根据粒子径,可以划分为常规粒子(0.1um~5.0um)、超微粒子(<0.1um)和宏粒子(>5.0um)。
空气洁净度分级标准: ISO14644-1 (国际标准)
空气洁净度分级标准: GB/T16292-1996 (中国标准)
验收测试数据
■ 温度:25±2℃
■照度:>300lux
■面积:1300m2
■施工期:30天
Testing data in check and accept procedure
■Temperature:22±2℃
■ Lllumination: >350lux
■Area:1300m2
■Construction period:30 Day