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1.工艺平面布置应合理、紧凑。洁净室或洁净区内只布置必要的工艺设备,以及有空气洁净度等级要求的工序和工作室。2.在满足生产工艺和噪声要求的前提下,空气洁净度等级高的洁净室或洁净区宜靠近空气调节机房,空气洁净度等级相同的工序和工作室宜集... [详细]
发布日期:2018-03-09
1.洁净厂房位置的选择,应根据下列要求并经技术经济方案比较后确定。2.应在大气含尘和有害气体浓度较低、自然环境较好的区域。3.应远离铁路、码头、飞机场、交通要道以及大量粉尘和有害气体工厂等有严重空气污染、振动或噪声干扰的区域。如不能远离... [详细]
洁净室和洁净区的环境控制要求---美国联邦标准209E(1992年9月11日发布,取代1988年6月5日发布的FED-STD-209E)本标准经联邦政府服务总局、联邦供应服务司专员批准,供联邦政府各机构使用。目录1. 范围及局限1.1. 范围1.2. 局限2. ... [详细]
洁净工程观感质量要求 观感质量各检查点合格、优良的质量要求装修部分一、室内顶棚罩面板顶棚保证项目:罩面板安装必须牢固,无脱层、翘曲、折裂、缺楞掉角等缺陷。主梁,搁栅(主筋、横撑)安装必须位置正 确,连接牢固,无松动。基... [详细]
洁净室工作服的清洗和性能检测 1、洁净工作服的清洗 洁净工作服是适用于电子、光学仪器、制药、微生物工程、精密仪器等行业的具有无尘和抗静电性能的特种工作服,其衣料一般是嵌织导电丝的合成纤维织物。 洁净工作服的管理最重要的一个环节就... [详细]
洁净工程观感质量要求国家标准GB50073-2001美国联邦标准(USA Federal Standard)209E(1992年)1m3=35.3ft3。 对照我国标准及美国标准可以看出,我国的3级标准与美国的1级标准相当。从而可以看出随着半导体行业从um量级向nm量级发展的过程中,洁净室... [详细]