洁净室

洁净室的定义

洁净室(Clean Room)，亦称为无尘室或洁净厂房，是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。广泛的运用于半导体、微电子、PCB、光电技术、光学仪器、生物工程、医药卫生、精细化工和食品工业等高科技领域提供10级-10万级的洁净生产环境。

 

洁净室的分类

 

一、按用途分类

（1）工业洁净室--以无生命的微粒作为控制对象。主要控制无生命微粒对工作对象的污染，内部一般保持正压。它适用于精密工业、电子工业、宇航工业、原子能工业、印刷工业、照相工业等部门。

（2）生物洁净室--以有生命的微粒为控制对象，又可分为：
1、一般生物洁净室。主要控制有生命微粒对工作对象的污染。同时内部材料要经受各种灭菌剂侵蚀，内部一般保持正压。可用于制药工业、食品工业、医疗设施、实验设施等。
2、生物安全洁净室。主要控制工作对象的有生命微粒对外界和人的污染，内部需保持负压。 用于实验设施、生物工程、医疗设施等。

 

二、按气流分类

按气流可分：
1、非单向流洁净室
非单向流洁净室的原理就是稀释作用。当一股干净气流从送风口送入时，迅速向四周扩散、混合。同时把差不多同样数量的气流从回风口排走，这股干净气流稀释着室内污染的空气，把原来含尘埃浓度很高的室内空气冲淡了，一直达到平衡。所以气流扩散的越快，越均匀，那么稀释的效果当然越好。
2、单向流洁净室
单向洁净室的特点：
a.全室断面上的流速比较均匀
b.在工作区内流线平行（流线平行指时均流线彼此平行）
c.在工作区内没有涡流

 

单向流洁净室的分类

 

一、垂直单项洁净室

1、顶棚布满高效过滤器送风，全地板格栅回风这是典型的垂直单向流洁净室，优点是：可获得均匀向下的单向气流，因而自净能力强，能够达到最高的洁净度级别。
2、测布高效过滤器顶棚阻尼层送风，全地板格栅回风。
3、顶棚和侧面布高效过滤器送风，全地板格栅回风。
4、全顶棚送风，两侧下回风。

 

 

二、水平单向流洁净室

1、送风墙布满高效过滤器水平送风，全墙面回风
2、“隧道”式单向流送风。

 

 

三、混合流洁净室（局部单向流）、洁净度等级标准（常用）、美国联邦标准FS209E

 

为了保证洁净室（厂房）内的尘粒控制在洁净室（厂房）洁净等级所要求的尘粒数以内，一般以净化空调系统中使用三级或四级空气过滤器，来拦截进入室内气流中的尘埃粒，所使用的空气过滤器按其对空气过滤的效果分以下几种：即初效过滤器、中效过滤器、亚高效过滤器和高效过滤器。

 

材料要求

洁净室的建筑装饰对洁净室综合性能有直接影响，故要求：表面平滑，有耐磨性、不易产生静电、不吸湿、不透湿、材料不产尘、不易积尘（严密）、地面耐磨性、耐侵蚀、防静电、防滑、易清扫。

 

结构材料

1、洁净厂房墙、顶板材料一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板制造，其特点为美观、刚性强。圆弧墙角、门、窗框等一般采用氧化铝型材制造。
2、地面可采用环氧自流坪地板或高级耐磨塑料地板，有防静电要求的，可以选用防静电型。
3、送回风管道用热镀锌板制成，贴净化保温效果好的阻燃型PF发泡塑胶板。
4、高效送风口用不锈钢框架，美观洁净，冲孔网板用烤漆铝板，不生锈不粘尘，宜清洁。

 

净化参数要求

 

净化室温、湿度范围

 

气流流型和送风量（静态）

为了保证空气洁净度等级的送风量，表中有关数据进行计算或室内发尘量进行计算。