洁净室压差控制:
1.洁净室与周围的空间必须维持一定的压差,并应按生产工艺要求决定维持正压差和负压差。
2.不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区之间的压差,应不小于5Pa,洁净区与室外的压差,应不小于10Pa。
3.洁净室维持不同的压差值所需的压差风量,根据洁净室特点,宜采用缝隙法或换气次数法确定。
4.送风、回风和排风系统的启闭应联锁。正压洁净室联锁程序为先启动送风机,再启动回风机和排风机;关闭时联锁程序应相反。负压洁净室联锁程序与上述正压洁净室相反。
5.非连续运行的洁净室,可根据生产工艺要求设置值班送风,并应进行净化空调处理。
空气净化处理:
1.空气锅炉汽的选用、布置和安装方式应符合下列要求:
(1)空气净化处理应根据空气洁净度等级合计选用空气过滤器。
(2)空气过滤器的处理风量应小于或等于额定风量。
(3)中效(高中效)空气过滤器宜集中设置在空调系统的正压段。
(4)亚高效和高效过滤器作为末端过滤器时宜设置在净化空调系统的末端;超高效过滤器必须设置在净化空调系统的末端。
(5)设置在同一洁净区内的高效(亚高效、超高效)空气过滤器的阻力、效率宜相近。
2.对较大型的洁净厂房的净化空调系统的新风宜集中进行空气净化处理。
3.净化空调系统设计合理利用回风。
4.净化空调系统的风机宜采取变频措施。
5.净化空调系统的电加热器、电加湿器应采取安全保护措施。寒冷地区的新风系统应设置防冻保护措施。